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等離子清洗機清洗的效果主要與基礎壓力、放電功率、工藝氣體種類(lèi)、工藝氣體流量、放電時(shí)間及工件材料等諸多因素有關(guān)，并與清洗工藝息息相關(guān)。

等離子清洗機工藝參數說(shuō)明

等離子清洗機清洗效果好壞與其清洗工藝參數息息相關(guān)，清洗工藝參數的設定將直接作用在整個(gè)清洗工藝流程中，而其大小、長(cháng)短等在清洗過(guò)程中所體現的作用是不同的，主要的工藝參數及其簡(jiǎn)單含義說(shuō)明如下：

（1）基礎壓力：真空抽到某一值并開(kāi)始充入工藝氣體時(shí)的壓力值，其大小將影響動(dòng)態(tài)平衡及放電清洗時(shí)工作腔內的壓力大小?；A壓力越大，工作腔內壓力越大，容易導致匹配難或能量損失，反之亦然?；A壓力設定一般在20pa～60pa之間。

（2）放電功率：功率越大，激發(fā)的等離子體能量越大。但是能量過(guò)大容易導致材料表面損傷，能量過(guò)小則清洗效果不明顯。

（3）工藝氣體種類(lèi)：不同的工藝氣體種類(lèi)所激發(fā)的等離子的性能是不同的，需要根據被清洗材料選擇不同的工藝氣體。

（4）工藝氣體流量：工藝氣體流量越大，激發(fā)的等離子濃度越大，但流量變大容易導致激發(fā)困難及離子能量變小。

（5）輝光放電時(shí)間：放電時(shí)間即等離子作用于材料表面時(shí)間，時(shí)間短清洗效果不理想，時(shí)間長(cháng)則容易損傷材料表面。

綜上所述，不同的工藝參數設定直接影響等離子清洗機的清洗效果，應根據清洗材料的材質(zhì)設定合適的工藝參數。