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真空等離子表面處理機需要多系統協(xié)同作用，主要包括控制系統、工作氣源系統、真空系統、射頻電源系統、氣體控制系統和反應腔等。

真空等離子表面處理機常見(jiàn)故障和檢查維修方法

無(wú)法起輝

（1）射頻電源故障，需要檢測電源輸出功率；

（2）電極板正負極插錯，電極板鍍金插頭斷，發(fā)黑接觸不良，需要檢查正負極板是否插錯，是否有接觸不良的現象存在；

（3）氣體進(jìn)氣量異常，需要檢查氣體質(zhì)量流量計和進(jìn)氣閥門(mén)是否正常；

（4）腔室壓力不滿(mǎn)足要求，需要檢查真空示數是否達標，若達標，則需要外接真空計檢測腔室真空度，以確定真空傳感器無(wú)損壞；

（5））射頻反射功率過(guò)大，需要檢查自動(dòng)匹配模塊是否正常。

輝光不穩

（1）射頻電源輸出不穩，需要檢測射頻功率；

（2）腔室壓力不穩定，需要檢查控制氣體進(jìn)氣量的真空閥是否正常；

（3）電纜接觸不良，需要重新連接，并使用專(zhuān)用清洗劑清潔。

壓力顯示不穩定

（1）真空泵異?；蚶匣?，用真空計檢測泵體進(jìn)氣口處真空度，視情況需要適當增加泵油或更換新泵；

（2）真空閥異常，檢查真空閥開(kāi)閉是否順利；

（3）氣體流量異常，檢查氣體流量計，閥門(mén)以及管路是否正常；

（4）真空管路泄露，檢查真空系統漏率，檢查管路各部位如波紋管是否出現裂紋，必要時(shí)用檢漏儀檢漏以精準定位泄漏點(diǎn)。

典型維修案例分析

真空等離子表面處理機的射頻反射功率過(guò)高會(huì )出現無(wú)法起輝或輝光不穩的故障，程序在檢測到反射功率超過(guò)設定值之后會(huì )報錯，并停止工藝，此時(shí)需要對射頻匹配模塊進(jìn)行維修和調整。一般情況下，若飄移不大，可通過(guò)設備的調節開(kāi)關(guān)調整到允許范圍內。但下列現象沒(méi)有辦法通過(guò)調節開(kāi)關(guān)調到允許范圍之內：匹配命令發(fā)出之后調整電機不轉、電容葉片變形卡住、位置電位器壞、位置電位器軸向緊固螺釘松動(dòng)、齒輪磨損等情況只能打開(kāi)匹配箱進(jìn)行相應位置的調整及維修。

以上就是常見(jiàn)的真空等離子表面處理機故障和檢查方法，為設備的使用和維修維護提供了一定的參考。一般碰到問(wèn)題最好第一時(shí)間直接找廠(chǎng)家聯(lián)系，通過(guò)廠(chǎng)家來(lái)提供專(zhuān)業(yè)的操作指導，避免出現更大的故障問(wèn)題。