久久精品国产亚洲AV麻豆导航,久久精品国产免费播蜜桃,亚洲AV午夜福利精品一区,无码国产精品一区二区AV,久久96热在精品国产高清

等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài)（被稱(chēng)為物質(zhì)的第四態(tài)），是由原子，電子，分子，離子或自由基組合而成，等離子清洗機就是通過(guò)物理、化學(xué)作用對被清洗物表面進(jìn)行處理，實(shí)現去除分子水平污染物的一種工藝過(guò)程，同時(shí)也可提高其表面活性。

等離子體可以通過(guò)直流或高頻交流電場(chǎng)產(chǎn)生。在刻蝕中已很少用直流而采用交流。交變頻率根據電信規定要求一般有中頻（MF）40KHz、射頻(RF)13.56MHz、微波頻率(MW)2.45GHz。三種頻率的等離子清洗機工作機理和特性有一定的差異，40KHz等離子清洗機主要以轟擊為主，是物理過(guò)程，適應于清洗，材料去除速率較快；13.56MHz等離子清洗機物理、化學(xué)過(guò)程都有，清洗和刻蝕都可以適應，刻蝕是各向異性；2.45GHz等離子清洗機主要是化學(xué)為主，各向同性，適應有敏感電路或材料的清洗，材料去除速率較慢。

物理方式獲得刻蝕的各向異性，但選擇比低和伴隨轟擊損傷；而化學(xué)方式獲得高刻蝕速率和高選擇比但刻蝕是各向同性。結合化學(xué)和物理刻蝕特點(diǎn)，合理對這兩種方式進(jìn)行優(yōu)化控制則可以即得到各向異性輪廓和合理的選擇比及較低的離子轟擊缺陷。等離子清洗機電源激勵頻率與離子密度、電源頻率與等離子體自偏壓之間及的大致關(guān)系：頻率越高，等離子體離子密度越高；頻率越高，自偏壓越低。

等離子體自偏壓和激勵頻率的關(guān)系圖見(jiàn)圖1-1

圖 1-1 等離子體激發(fā)頻率與自偏壓的關(guān)系

圖2-2是粒子能量和粒子密度隨電場(chǎng)頻率變化的關(guān)系，從圖中可以清晰地看出粒子密度與電源頻率成正比關(guān)系，而粒子能量與之相反與電源放電頻率成反比關(guān)系。當頻率為13.56MHz時(shí)粒子能量與粒子密度相對平衡，由此可知國際通用射頻電源頻率的由來(lái)。

圖 2 -2 粒子能量和密度與電源頻率的關(guān)系

目前，國內等離子清洗設備廠(chǎng)商使用的電源頻率多為40KHz中頻等離子清洗機和13.56MHz射頻等離子清洗機。此類(lèi)技術(shù)相對比較成熟，市場(chǎng)上的設備種類(lèi)也較多。