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等離子清洗方法用氣體作為處理介質(zhì)，利用能量轉換技術(shù)以電能將氣體轉換為化學(xué)反應性和活性很高的氣體等離子體（plasma），等離子體通過(guò)化學(xué)或物理作用對固體樣品表面進(jìn)行處理，引起分子結構改變，實(shí)現分子水平的玷污去除。

等離子清洗效果與清洗氣體類(lèi)型有關(guān)，根據不同的待清洗材料可選用氬氣、氮氣、氧氣、氫氣或者是氬氫、氬氧等混合氣體進(jìn)行短時(shí)間表面清洗。一種是激發(fā)惰性氣體產(chǎn)生等離子體，如氬氣、氮氣等；另一種是激發(fā)活潑氣體產(chǎn)生等離子體，如氫氣、氧氣等。

氬氣：

氬氣等離子清洗方式屬于一種物理清洗方式，主要利用了粒子的動(dòng)能，通過(guò)物理撞擊擊碎表面高分子的鍵合，并得到微結構粗糙面。

氧氣：

氧氣等離子清洗主要是利用了化學(xué)反應的原理，利用O2進(jìn)行等離子清洗的過(guò)程中，有機分子與氧離子能反應形成H2O或CO2，從而汽化，通過(guò)氧化燃燒高分子聚合物和有機物，或者形成雙鍵結構的官能團，可表面改性，整個(gè)過(guò)程中也包括一些物理過(guò)程。

氫氣：

是一種具有還原性作用的氣體，可以還原被氧化的金屬表層，并伴隨一定的物理過(guò)程，一般將其與氬氣同時(shí)使用，能夠保證更高的清洗效率和效果。

氨氣：

用氨氣等離子處理，可以使其表面連接上氨基基團。氨氣等離子體是一種能夠顯著(zhù)改善表面粗糙度、提升潤濕性并增加材料表面含氮基團數量的處理方法。它被認為是等離子清洗中效果最顯著(zhù)的氣體之一。然而，由于氨氣對大氣環(huán)境不友好，處理氨氣污氣給大規模工業(yè)化帶來(lái)了巨大的挑戰。

含氟氣體：

含氟氣體在經(jīng)過(guò)等離子處理后，能夠在自由基上鍵合含氟官能團，從而極大地提高材料表面的疏水性能。

混合氣體：

主要指的是同時(shí)將多種氣體進(jìn)行混合，利用發(fā)生的化學(xué)反應以及物理過(guò)程達到更佳的清洗效果。例如將氬氣、氫氣混合使用，先利用氬氣增強物體表面的結構活化，然后利用氫氣進(jìn)行清洗，采用這種方式提升了結合的強度。

不同的工藝氣體種類(lèi)所激發(fā)的等離子的性能是不同的，需要根據被清洗材料選擇不同的工藝氣體。