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工藝氣體流量的穩定性對工業(yè)型真空等離子清洗機的處理效果具有重要的影響。為了確保清洗效果，大多數工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格。因此，工業(yè)型真空等離子清洗機通常采用質(zhì)量流量控制器來(lái)控制工藝氣體流量。

在工業(yè)型真空等離子清洗機實(shí)際使用過(guò)程中，不同的工藝要求需要使用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器。真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間。對于一些大型真空等離子清洗機，還需要使用0~1SLM規格的質(zhì)量流量控制器。（注意：?jiǎn)挝籗CCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。) 在選擇通入不同工藝氣體時(shí)，建議選擇對應氣體的專(zhuān)用質(zhì)量流量控制器，以確保輸入氣體的穩定和計量。這是因為不同工藝氣體的分子大小、化學(xué)特性等都會(huì )對流量控制器的性能產(chǎn)生影響，可能會(huì )導致流量誤差和安全隱患。

如果使用傳統的工藝氣體，可以選擇一種氣體作為標準，其中僅需要確保氣體流速的穩定性。要注意的是，對于氫氣（H₂）、四氟化碳（CF4）等特殊氣體，易爆易燃且具有腐蝕性的氣體，必須使用專(zhuān)用的質(zhì)量流量控制器。這些特殊氣體在實(shí)驗過(guò)程中具有很高的危險性，一旦泄漏或受到外界刺激，可能會(huì )引發(fā)爆炸或火災等安全事故。因此，在選擇通入氣體時(shí)，必須充分考慮氣體的特性和安全性，以確保實(shí)驗操作的安全順利進(jìn)行。

此外，實(shí)驗型真空等離子清洗機機通常對流量控制要求不是很?chē)栏?，因此也可以選用手動(dòng)浮子流量計。手動(dòng)浮子流量計操作簡(jiǎn)單、價(jià)格便宜，對于一些流量變化不大的情況比較適用。

但是，在實(shí)驗過(guò)程中，由于氣體的不穩定性和不確定性，手動(dòng)浮子流量計的精度和穩定性可能無(wú)法滿(mǎn)足實(shí)驗要求，因此在實(shí)際應用中，建議選擇專(zhuān)用的質(zhì)量流量控制器，以確保實(shí)驗結果的準確性和安全性。