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NE-Q15電感耦合等離子清洗機通過(guò)RF射頻電源在石英腔體內感應誘導氣體從而產(chǎn)生等離子體。 電感耦合等離子體即使在較低氣壓下也可以擁有較高的等離子體密度，可以減小等離子體源中的高能離子對基底的轟擊。設備采用高純石英玻璃作為反應腔體，腔體潔凈度高，內部無(wú)電極，可以避免電極濺射造成的污染問(wèn)題。

設備用途：1、清洗：去除有機物、氧化物、金屬鹽、納米級微粒污染物等； 2、活化：親疏水改性、粘接性改善、表面能提升、官能團引入、生物相容性改善等 ；3、刻蝕：表面圖案化、表面微刻蝕、改變表面形貌粗糙度等； 4、鍵合：PDMS等微流控器件鍵合、晶圓鍵合前預處理 ；5、去膠：光刻膠灰化、掃底膜；