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真空電漿清洗機 真空等離子清洗機NE-PE40F
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

NE-PE40F是一款中小型真空等離子清洗機,廣泛應用于科研院校,企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。等離子清洗機是一種利用等離子體去除材料表面污染物的清洗設備,設備采用PLC觸摸屏控制,電源采用自動(dòng)匹配電源,通過(guò)真空泵快速產(chǎn)生一個(gè)1-20 Pa的真空壓強,同時(shí)根據客戶(hù)工藝要求,對真空反應腔室內通入不同的混合工藝氣體,使得通入的工藝氣體電離產(chǎn)生等離子體。工作過(guò)程中,等離子體中的高能粒子與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應或物理轟擊,使污染物解離、氧化或還原,形成揮發(fā)性產(chǎn)物,進(jìn)而達到表面污染物的清洗的效果。

NE-PE40F具有如下的優(yōu)點(diǎn):(1)等離子清洗機清洗效率高,應用范圍廣;(2)對清洗樣品,沒(méi)有任何外觀(guān)尺寸、材質(zhì)等要求;(3)在清洗過(guò)程中,溫升比較小,基本可達到常溫處理;(4)射頻功率可無(wú)極連續可調,高效的特制電極是產(chǎn)生均勻等離子體的保證;(5)特有的過(guò)載、過(guò)熱和短路保護電路,可保證射頻電源的穩定和安全;(6)設備采用模塊化設計,安裝與維護都極為簡(jiǎn)單。

產(chǎn)品參數

型號NE-PE40F
等離子頻率射頻13.56MHz
腔體材質(zhì)

不銹鋼/鋁合金(可選)

真空泵油泵/干泵(可選)
極限真空度1Pa
功率0-300W(可調)
腔體尺寸350(L)*405(D)*300(H)mm
腔體容積40L
腔體有效處理面積300(L)×300(D)mm
氣路數量2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等
極板間距34mm(可調整)
處理層數4層
控制方式PLC+觸摸屏
電源220V
外形尺寸685mm(L) X 830m (w) X 1450mm (H)


應用案例

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