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NE-PE60F真空箱式等離子清洗機通過(guò)PLC提供穩定的過(guò)程控制，設備運行的實(shí)時(shí)參數通過(guò)觸摸顯示屏直觀(guān)呈現，軟件控制系統，操作簡(jiǎn)單，能接控制設備及設定各種清洗工藝曲線(xiàn)，并根據工藝不同進(jìn)行設定、修改、存儲、調用；軟件自帶分析功能，能對工藝曲線(xiàn)進(jìn)行分析。軟件控制系統自動(dòng)的實(shí)時(shí)記錄清洗工藝參數及溫度曲線(xiàn)、時(shí)間、報警相關(guān)數據，保證產(chǎn)品清洗工藝的可追溯性。13.56MHz射頻電源與自動(dòng)匹配系統，具有優(yōu)異的穩定性與可重復性，多樣化可選氣體配置，靈活的電極結構設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案滿(mǎn)足不同類(lèi)型產(chǎn)品的清洗工藝要求。

等離子清洗與濕法清洗工藝相比，等離子清洗不需要使用強酸、強堿等溶液，不需要后期的烘干過(guò)程，也無(wú)廢水處理的要求，是一種簡(jiǎn)單高效、經(jīng)濟環(huán)保、無(wú)二次污染的清洗方法。通過(guò)等離子清洗可以改善了材料表面的潔凈度、親水性和潤濕性，增加基材表面的極性，去除基板表面的沾污和有機物。