產(chǎn)品簡(jiǎn)介
NE-PE65F是一款半導體行業(yè)專(zhuān)用的真空等離子清洗機,作為一種精密干法清洗設備,適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗;可應用于半導體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,可去除金屬表面的油脂、油污等有機物及氧化層。還可應用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗等。
設備采用鏡面不銹鋼鈑金,具有優(yōu)異的耐腐蝕性和潔凈度,電極絕緣部分采用陶瓷電極板托條,腔體密封件采用不含氟的材料,有效避免腔體內氟元素污染,設備滿(mǎn)足半導體行業(yè)高潔凈度的要求,雜質(zhì)的去除會(huì )大大提升產(chǎn)品質(zhì)量,實(shí)現工藝性能的大幅增強,提高良品率及產(chǎn)品可靠性。
設備應用:1、引線(xiàn)鍵合(Wire-bond)前的等離子清洗;2、塑封(Molding)前的等離子清洗;3、底部填充(Under-fill)前的等離子清洗;4、光刻膠的去除(Descum);5、表面粗化與刻蝕(Etching),使材料易于結合;
產(chǎn)品參數
型號 | NE-PE65F |
等離子發(fā)生器頻率 | 射頻13.56MHz |
功率 | 500W |
腔體材質(zhì) | 316 不銹鋼/航空鋁材 |
真空泵 | 干泵 |
鈑金 | 鏡面不銹鋼 |
電極絕緣 | 陶瓷 |
腔體容積 | 66L |
腔體尺寸 | 400(W)*450(D)*370(H)mm |
單層有效處理空間 | 297(W)mm x 364(D)mm |
電極板層數 | 6層(可定制) |
氣體流量控制器 | 質(zhì)量流量計0-500SCCM |
工藝氣體通道 | 2路(可增加) |
外形尺寸 | 905mm(L)×1030mm(W) ×1735 mm(H) |
電源供應 | AC380V,50/60Hz,三相五線(xiàn)100A |
等離子技術(shù)
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