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ICP電感耦合 等離子體清潔儀NE-Q03H
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

等離子體清潔儀(Plasma Cleaner)是一種專(zhuān)用于表面清潔和改性的高精度設備,其核心原理是利用等離子體技術(shù)高效去除物體表面的有機或無(wú)機污染物,并實(shí)現對材料表面特性的優(yōu)化。該設備通過(guò)引入工藝氣體(通常為氫氣、氧氣、氦氣等氣體),在高能電場(chǎng)作用下激發(fā)氣體分子,使其電離形成等離子體。這些等離子體由高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子組成,具有極高的化學(xué)活性。在電場(chǎng)的作用下,等離子體中的活性粒子以高速撞擊待清洗物體的表面,通過(guò)與污染物分子發(fā)生物理轟擊或化學(xué)反應,將其分解為揮發(fā)性小分子或直接剝離,從而實(shí)現表面的深度清潔。除了清潔功能,等離子體清潔儀還能在一定程度上改變材料表面的物理化學(xué)特性。例如,通過(guò)選擇不同的工作氣體和處理參數,可以在材料表面引入特定的官能團,從而增強其潤濕性、附著(zhù)力或生物相容性。這種表面改性功能在微電子制造、光學(xué)器件、生物醫學(xué)材料等領(lǐng)域具有廣泛的應用價(jià)值。

NE-Q03H等離子體清潔儀產(chǎn)品特點(diǎn):1、自動(dòng)開(kāi)關(guān)門(mén)設計,實(shí)現設備真空門(mén)的自動(dòng)開(kāi)閉,減輕作業(yè)員手工操作的動(dòng)作,保證真空門(mén)的密封效果;2、7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面,實(shí)時(shí)工作參數狀態(tài)直觀(guān)顯示;3、采用質(zhì)量流量計控制工藝氣體流量,控制更準確;4、支持手動(dòng)/自動(dòng)兩種工作模式切換,可存儲多個(gè)工藝配方,方便調用,工藝數據可追溯;5、采用45度傾角操作面板設計,符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

產(chǎn)品參數

型號NE-Q03H
等離子發(fā)生器頻率13.56MHz
等離子發(fā)生器功率300W(固態(tài)射頻電源)
腔體材質(zhì)石英耐熱玻璃
腔體尺寸(圓形)Φ105×300(D)mm
氣體流量控制器0-300 SCCM(質(zhì)量流量計)
腔體容積2.5L
工藝氣體2路(氧氣、氬氣等)
控制方式PLC+7寸觸摸屏
外形尺寸552mm(L)×612mm(W) ×520 mm(H)
電源供應220V


應用案例

產(chǎn)品推薦

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